CHAMBER
低真空、中高真空、超高真空用のチャンバーがあり、こちらはICFフランジを用いての 高真空チャンバー、超高真空チャンバーです。 チャンバー内での温度調整の為水冷を巻いております。
ICFFURANGE
ＣＦ（Conflat Flange)規格製品はSUS304Lを標準に取扱いをしております。 ＣＦ規格の形状は真空側に彫られた尖ったミゾ（ナイフエッジ）に無酸素銅ガスケットを入れて相手のフランジと挟み込み ボルトでフランジを締め込むことにより高い真空度を保つことができます。
NWFURANGE
NW/KF（Klein Flange）規格は真空分野での低真空～高真空領域で使用される配管継手部品から構成されます。 同じサイズのフランジの間に封止するためのOリングをつけてクランプで締め付けることで真空を保つことができます。
Copyright © 株式会社多摩技研製作所 All rights reserved.